Publication: Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії
| dc.contributor.author | Кідалов, Віталій | uk |
| dc.date.accessioned | 2024-05-21T16:56:11Z | |
| dc.date.available | 2024-05-21T16:56:11Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.description.abstract | У кваліфікаційній роботі розроблено методику отримання гетероструктур на основі поруватих напівпровідників Si, а також з’ясування механізмів формування гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si та фізичних процесів, що протікають у ній. Проаналізовано фізико-технологічні основи отримання гетероструктури ZnO/SiС/porous-Si/Si. | uk |
| dc.identifier.citation | Кідалов В. Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії : кваліфікаційна робота на здобуття ступеня магістра: спец. 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. Г. Коломоєць. – БДПУ, 2022. – 51 с. | uk |
| dc.identifier.uri | https://dspace.bdpu.org.ua/handle/123456789/3250 | |
| dc.language.iso | uk | uk |
| dc.publisher | БДПУ | uk |
| dc.subject | Електрохімічне травлення | uk |
| dc.subject | гетероструктура | uk |
| dc.subject | поруватий кремній | uk |
| dc.subject | фотолюмінесценція | uk |
| dc.subject | рентгеноструктурний аналіз | uk |
| dc.title | Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії | uk |
| dc.type | Other | en |
| dspace.entity.type | Publication |