Publication: Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії
Loading...
Date
Authors
Науковий керівник
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
БДПУ
Abstract
У кваліфікаційній роботі розроблено методику отримання гетероструктур на основі поруватих напівпровідників Si, а також з’ясування механізмів формування гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si та фізичних процесів, що протікають у ній. Проаналізовано фізико-технологічні основи отримання гетероструктури ZnO/SiС/porous-Si/Si.
Description
Citation
Кідалов В. Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії : кваліфікаційна робота на здобуття ступеня магістра: спец. 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. Г. Коломоєць. – БДПУ, 2022. – 51 с.