Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКідалов, Віталійuk
dc.date.accessioned2024-05-21T16:56:11Z
dc.date.available2024-05-21T16:56:11Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractУ кваліфікаційній роботі розроблено методику отримання гетероструктур на основі поруватих напівпровідників Si, а також з’ясування механізмів формування гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si та фізичних процесів, що протікають у ній. Проаналізовано фізико-технологічні основи отримання гетероструктури ZnO/SiС/porous-Si/Si.uk
dc.identifier.citationКідалов В. Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії : кваліфікаційна робота на здобуття ступеня магістра: спец. 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. Г. Коломоєць. – БДПУ, 2022. – 51 с.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.bdpu.org.ua/handle/123456789/3250
dc.language.isoukuk
dc.publisherБДПУuk
dc.subjectЕлектрохімічне травленняuk
dc.subjectгетероструктураuk
dc.subjectпоруватий кремнійuk
dc.subjectфотолюмінесценціяuk
dc.subjectрентгеноструктурний аналізuk
dc.titleВластивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремніїuk
dc.typeOtheren
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Mahisterska robota Kidalov Vitalii 2.pdf
Розмір:
456.05 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed to upon submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Факультет фізико-математичної, комп’ютерної та технологічної освіти