Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії
dc.contributor.author | Кідалов, Віталій | uk |
dc.date.accessioned | 2024-05-21T16:56:11Z | |
dc.date.available | 2024-05-21T16:56:11Z | |
dc.date.issued | 2022 | |
dc.description.abstract | У кваліфікаційній роботі розроблено методику отримання гетероструктур на основі поруватих напівпровідників Si, а також з’ясування механізмів формування гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si та фізичних процесів, що протікають у ній. Проаналізовано фізико-технологічні основи отримання гетероструктури ZnO/SiС/porous-Si/Si. | uk |
dc.identifier.citation | Кідалов В. Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії : кваліфікаційна робота на здобуття ступеня магістра: спец. 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. Г. Коломоєць. – БДПУ, 2022. – 51 с. | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.bdpu.org.ua/handle/123456789/3250 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | БДПУ | uk |
dc.subject | Електрохімічне травлення | uk |
dc.subject | гетероструктура | uk |
dc.subject | поруватий кремній | uk |
dc.subject | фотолюмінесценція | uk |
dc.subject | рентгеноструктурний аналіз | uk |
dc.title | Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії | uk |
dc.type | Other | en |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- Mahisterska robota Kidalov Vitalii 2.pdf
- Розмір:
- 456.05 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed to upon submission
- Опис: