У кваліфікаційній роботі проаналізовано технологію синтезу наноструктур на поверхні напівпровідників, удосконалено метод синтезу наноструктур на поверхні фосфіду індію, досліджено морфологічні властивості сформованих періодичних наноструктур на поверхні фосфіду індію, досліджено хімічний склад поверхневих шарів за допомогою EDX аналізу та запропоновано дислокаційний механізм формування нанодротів.