Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії
Вантажиться...
Дата
2022
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
БДПУ
Анотація
У кваліфікаційній роботі розроблено методику отримання гетероструктур на основі поруватих напівпровідників Si, а також з’ясування механізмів формування гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si та фізичних процесів, що протікають у ній. Проаналізовано фізико-технологічні основи отримання гетероструктури ZnO/SiС/porous-Si/Si.
Опис
Ключові слова
Електрохімічне травлення, гетероструктура, поруватий кремній, фотолюмінесценція, рентгеноструктурний аналіз
Бібліографічний опис
Кідалов В. Властивості плівок β-Ga2O3, отриманих радіочастотним магнетроном напиленням на пористому кремнії : кваліфікаційна робота на здобуття ступеня магістра: спец. 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. Г. Коломоєць. – БДПУ, 2022. – 51 с.